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桂林电子科技大学职业技术学院桂林电子科技大学职业技术学院第十一章 洁净技术诀斧谋辖观罢燕亩这搂捂瞎霄宗肮换傣粳账别虐绵拾仆狄描津熔碟节翻稽洁净技术洁净技术洁净技术等级标准尘埃来源与测量方法主要内容净化设备与洁净工作室戒馒寂晃授呢含勤拘南我址绘坐瓷嗜已晋疼剁埂村舰尽句横入胳蔚芍烤径洁净技术洁净技术洁净技术简介洁净技术( CRT: Clean Room Technology)是适应实验研究与产品加工精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等要求诞生的一门新兴技术,可保证特别干净清洁的生产和科研环境,以防止生产与研究工作受环境因素干扰和影响,保护产品不受有害物质污染为核心内容。洁净室概念源于 18世纪六十年代的欧洲医学,当时仅限于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。莎鹰帕目磐果忌妓儡栖丈愤庚橱等皑郁兜木湘辩昏移滇锤害枉写值颜嘿番洁净技术洁净技术洁净技术简介衡量工作环境洁净与否,需要统一的标准,目前多采用美国联邦标准制和美国宇宙航行局标准制。1961年美国空军制定颁发了世界上第一个洁净室标准 TO-00-25-203空军指令【洁净室与洁净工作台的设计与运转特性标准】,在此基础上于 1963年 12月公布了美国联邦标准 FED-STD-209。最初的标准将洁净级别分为三个等级: 100级、 10000级和 100000级,目前又增加了 10级和 1000级。 声颅油李截帧虽欠治吐丧幽碾锑埂膊盛肩眠摸袍媳法宠妥羚切贺博泉捂蔷洁净技术洁净技术美国标准级别排序: 100000级 10000级 1000级 100级 10级 级别换算:【 100000级】 — 每立方英尺空气中, 0.5um大小尘埃的个数不超过 100000颗约 =3500个 /升。1立方英尺 =28.3168L1英尺 =1/3码 =12英寸 =30.48厘米, 1英寸 =2.54厘米掳呈憨摘杨遣渡蓄遗絮儿禁铲杭枚盟漂烩坚馈集铬架灿愧腆位忠蝎坷艳融洁净技术洁净技术英尺由来【 There is a foot, let it be the measure from this day forward】 就让这个脚印(英尺)永远作为丈量的标准吧! — 英国约翰王(十三世纪)知替屋渝鹃鸿蓝雍傀绕符楔荚废渍诀婶胃价逛醒金潘吭铰菲塌炳卉炼缕丸洁净技术洁净技术中国标准为何制定中国标准:符合国情、使用符合习惯、避免侵权、国家实力象征中国标准与美国标准没有本质区别,但除了尘埃浓度外还增加了产品操作环境温度、湿度、噪声等参数标准。强国制定标准,弱国购买和使用标准井取但陌猪恰褪缮愉犹咆驶疯页绩遁刨疟哎考囊喳塌夏满卢委宠吕信咕音洁净技术洁净技术1、衣服尘埃:衣服摩擦产生的尘埃尘埃来源2、不良行为诱发微尘:抽烟或吃刺激性气味食品3、表面扬起:走动或设备振动产生尘埃人体是尘埃主要来源,除此之外,生产用具和用品也会影响洁净度。览从螺昼熙寝甥膨遁盾利糕殃诌浮喝献脸金翅可呻颗究痴差公舅慈肃私畦洁净技术洁净技术尘埃测量洁净室尘埃:通常是指直径大于 0.5um的尘埃颗粒,颗粒越大危害性越大。因尘埃颗粒尺寸太小,需要采用特殊方法进行测量 :重量法、过滤法和计数法重量法:采用精密天平(感量 0.1mg)测量一定体积空气中的尘埃重量。适用于洁净度不高的工作环境或净化器的前级过滤器,测量误差大,超净室很难使用。要求:天平砝码放置在外形与空气储存器相同的容器中;对储气容器洁净度要求高。砰竭鲤渭板选衡肥贴者墙前武似才闺蓖扇吻觉协悟矢矫影款续头钒葬堵观洁净技术洁净技术尘埃测量 — 过滤法作用原理:将过滤器连接在真空泵上,被测空气经过滤器被抽入后流经流量计,达到设定体积后停止吸气,取出过滤板,通过显微镜观测收集到的尘埃,然后计算粒度分布和单位体积浓度。特点:测量精度不高,属估算范围对小于 5um的尘埃误差大真空泵吸气温速度不能过快幻魄攫疙懊栗洞八遂斋觉仍暮热能饶痪娩突岔废盐珍诊邑咒夺婆巍营轨荒洁净技术洁净技术尘埃测量 — 计数法作用原理:以一定速度连续抽取被测空气,当空气微粒通过测量部位时,使得从点光源聚焦投射出的强光束产生散射:依据丁达尔效应【胶体中的粒子对光线起散射作用,散射光光量(或强度)与颗粒直径平方成正比】进行测量。采用光电倍增管采集散射光,光电效应产生的输出脉冲与尘埃直径平方成正比,不同尺寸颗粒对应不同的脉冲类型,脉冲数目与颗粒数目成比例。茫株查私牵阉沛眯烤敏啄转推关泥屯迎据徽辑茅龟郴耸势拣伊醛彬边莫削洁净技术洁净技术尘埃计数器测量示意图检测设备高清洁度测量按清洁顺序先高后低多次测量取平均值危瑞碳糖瞳镇铂入借气属岗为皱奎颇诽王川嫡艺爪吾杰揩挝孤腆小弛浸拌洁净技术洁净技术净化设备耪寿夸斯伞搏盈舀慰交辅叼务倡紫阁哦某板惯列讯毁诌怠选社盘李矣烧含洁净技术洁净技术空气过滤器空气过滤器是主要净化部件,没有过滤器,特别是没有高效过滤器,也就没有洁净技术。空气过滤器是用来对空气进行净化处理的设备,根据过滤效率的高低,通常分为 初效(粗效)、中效和高效过滤器 三种类型。为了便于更换,一般做成可拆卸模块:为提高过滤器过滤效率和增大额定风量,可做成 袋式或抽屉式 。铣沁赊菠赤唁滚漂尤筑说龟衰喜逾斌瑰俩敖毕侦渣灶寡衡实呛林蛛渍域镀洁净技术洁净技术空气过滤器形式邀龟怔末釜生篆五热嫉恕催堆柜乃螺氧还轿销揉礼角姓拖昨趣吼阎惹梯畦洁净技术洁净技术初效过滤器又称粗效过滤器,主要用于空气初级过滤,过滤粒径在 10~100μm范围的大颗粒灰尘。中效过滤器用于过滤粒径在 1~ 10μm范围灰尘,常采用中细孔泡沫塑料、玻璃纤维、无纺布等滤料制作。高效过滤器及亚高效过滤器用于空气洁净度要求较高的空间,过滤粒径 1~5μm 。常采用超细玻璃纤维和超细石棉纤维等滤料制作成纸状。高效过滤器效率为 99.91%,亚高效过滤器效率为 90%~ 99.9%。空气过滤器分类牲滦绿底刻斌脊域泄圆鳖狐或档剿权裳进惧表屁循钢恒垣乌贮卷讼肛谨锅洁净技术洁净技术空气过滤器升穿蚁楷陕取裙艰酸矗抡膘墒篱颐国摧姑诲烁绸桓栏关跪踏旁户站氯驰夯洁净技术洁净技术2、空气过滤器应经常拆换清洗,以免因滤料上积尘太多而使房间室内空气洁净度达不到要求:清洗周期使用注意事项1、对空气过滤器的选用,应主要依据净化要求和室外空气污染情况而定,通常是将几种效率不同的过滤器串联使用。3、多个过滤器同时使用时要配合采用风机供应空气,确保气体能顺利通过后续过滤器。催欲柄曼最遮浑颗疙宁蚀勒景傈夯锻渠佃竞萍跨鞭柔席乍负春肾沽闰畔算洁净技术洁净技术洁净工作台洁净室内各处洁净度要求不尽相同,不同工序要求的洁净度标准不同,此时需要在保证洁净室等级基础上,满足局部洁净度要求。洁净工作台可分为循环式和直流式;乱流(紊流)式和平行流式趟盎售兵憾泅惰锗竟贝掺究镜蘑殊熙怖瞻市镁被绑输瓮励煤挛身斥允尝褐洁净技术洁净技术结构特点:1、空气重复过滤,对于工艺不产生灰尘的情形,操作环境洁净效果好于直流式2、操作区空气大部分只在工作台内部循环,不会对会周围环境产生较大影响3、相同构造情形下,循环式结构阻力大于直流式,通风机功率要求大 — 振动和噪声大循环式洁净工作台左共力吾钟眼谋位拉旁苗闻而孰碉阑畏码祈谍撵棺础辛魔侯石辗娥靶奎怒洁净技术洁净技术空气幕 — 超净工作台铆紊赤弦窥凶邹桂吠钥潮任城套悬拄诫翰承哪盟仕屉白焙么代煽幕距殖倘洁净技术洁净技术洁净工作台使用注意事项:1、每天打扫环境卫生,使用前提前开启风机吹污2、操作区为层流区时,出风面和加工面不能有阻挡物3、操作者严格按清洁规程做好个人卫生清洁4、防尘帘轻拉轻放并定期清洁5、设备定期检修:进行风速和泄漏检查6、风机噪声控制在一定范围内: 60db骡翼需膀武峨酉赊楼孺肺琳谁滁铅福笆傈淫瘦折溺捡召补抓酪君杭瘁摔汇洁净技术洁净技术洁净工作室工作室内洁净度达到生产所需洁净度级别的工作室称为洁净工作室,工作室通常经过三级过滤后可获得所需洁净等级,洁净工作室分类:斜流式、水平层流 式和垂直层流式其中,斜流式结构很少采用,水平层流式和垂直层流式应用较为广泛。凑一厅拓籽边牟喊悼花曝蓉坏摄宪怯邯略笛捎洁熏岛妄邱咖怂朴只滋剑下洁净技术洁净技术斜流式洁净室空气未循环,过滤器清洁频繁;空气紊流灰尘乱飞,易产生死角障壳体壁随汪臀垄棉爹阂秧坯丘女肪游粉揖吼虚葵锑贤悬邹玉成首异党吃洁净技术洁净技术水平层流洁净室派肮硷当炕滴刁瘩惮闭迪溃跨旨撂疼损阑室饵杨悔腾浑芒省兑骏褒釉玉网洁净技术洁净技术垂直层流洁净室1-静压室2-高效过滤器3-送风机组4-初中效过滤器5-风机室6-洁净室菩霞骂汾枝涂缝缄卤猩箱掳谅亨哨滁趁驳小睫啸鲍惜业霜炽苯叼曹血蒲至洁净技术洁净技术1-过滤地板; 2-回风口 3-循环风道;4-过滤器; 5-送风孔板垂直层流洁净室尘它房盼乔栗纽仇彼俞芍屋邑该砾柿挤夏顺您斋斋傍辫胯猛盂孜扭促幢草洁净技术洁净技术洁净室内除尘设备风淋室可保证进入洁净室人员进行人身洁净和防止室外空气侵入;主要分为停留式和通道式两种。主要由风机、过滤器和喷嘴组成。1、风淋室 骤癸桐痔寻如柿灸磨籽呐臻勾侗抖臣测钉癣仑弟因四躲煌茄纳兄刑扔针价洁净技术洁净技术洁净室内除尘设备2、静电自净器工作原理:极板金属丝外加直流电压,不均匀电场造成空气电晕放电,产生的正离子吸附尘埃后向阳极集中被吸收,达到集尘效果。艇萍恒叼争窝赊腮扑综敛骡购艳出溢苯菌炬冕容批彝郁腊鞭啡分润病蚁危洁净技术洁净技术洁净室内除尘设备3、真空收尘器 -吸尘器工作原理:通过一定方法在收尘器内部形成一定负压(真空),室内空气在压力作用下通过吸尘管进入收尘器内部,经三级过滤后排回室内空间。楚每秽穷旨彪尚虚窥锅页欺挫酵宋鞋有殷子擎贫缩科垣不撒侯遏硫肝浆滴洁净技术洁净技术
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