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桂林电子科技大学职业技术学院桂林电子科技大学职业技术学院第十一章 洁净技术诀斧谋辖观罢燕亩这搂捂瞎霄宗肮换傣粳账别虐绵拾仆狄描津熔碟节翻稽洁净技术洁净技术洁净技术等级标准尘埃来源与测量方法主要内容净化设备与洁净工作室戒馒寂晃授呢含勤拘南我址绘坐瓷嗜已晋疼剁埂村舰尽句横入胳蔚芍烤径洁净技术洁净技术洁净技术简介洁净技术( CRT: Clean Room Technology)是适应实验研究与产品加工精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等要求诞生的一门新兴技术,可保证特别干净清洁的生产和科研环境,以防止生产与研究工作受环境因素干扰和影响,保护产品不受有害物质污染为核心内容。洁净室概念源于 18世纪六十年代的欧洲医学,当时仅限于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。莎鹰帕目磐果忌妓儡栖丈愤庚橱等皑郁兜木湘辩昏移滇锤害枉写值颜嘿番洁净技术洁净技术洁净技术简介衡量工作环境洁净与否,需要统一的标准,目前多采用美国联邦标准制和美国宇宙航行局标准制。1961年美国空军制定颁发了世界上第一个洁净室标准 TO-00-25-203空军指令【洁净室与洁净工作台的设计与运转特性标准】,在此基础上于 1963年 12月公布了美国联邦标准 FED-STD-209。最初的标准将洁净级别分为三个等级: 100级、 10000级和 100000级,目前又增加了 10级和 1000级。 声颅油李截帧虽欠治吐丧幽碾锑埂膊盛肩眠摸袍媳法宠妥羚切贺博泉捂蔷洁净技术洁净技术美国标准级别排序: 100000级 10000级 1000级 100级 10级 级别换算:【 100000级】 — 每立方英尺空气中, 0.5um大小尘埃的个数不超过 100000颗约 =3500个 /升。1立方英尺 =28.3168L1英尺 =1/3码 =12英寸 =30.48厘米, 1英寸 =2.54厘米掳呈憨摘杨遣渡蓄遗絮儿禁铲杭枚盟漂烩坚馈集铬架灿愧腆位忠蝎坷艳融洁净技术洁净技术英尺由来【 There is a foot, let it be the measure from this day forward】 就让这个脚印(英尺)永远作为丈量的标准吧! — 英国约翰王(十三世纪)知替屋渝鹃鸿蓝雍傀绕符楔荚废渍诀婶胃价逛醒金潘吭铰菲塌炳卉炼缕丸洁净技术洁净技术中国标准为何制定中国标准:符合国情、使用符合习惯、避免侵权、国家实力象征中国标准与美国标准没有本质区别,但除了尘埃浓度外还增加了产品操作环境温度、湿度、噪声等参数标准。强国制定标准,弱国购买和使用标准井取但陌猪恰褪缮愉犹咆驶疯页绩遁刨疟哎考囊喳塌夏满卢委宠吕信咕音洁净技术洁净技术1、衣服尘埃:衣服摩擦产生的尘埃尘埃来源2、不良行为诱发微尘:抽烟或吃刺激性气味食品3、表面扬起:走动或设备振动产生尘埃人体是尘埃主要来源,除此之外,生产用具和用品也会影响洁净度。览从螺昼熙寝甥膨遁盾利糕殃诌浮喝献脸金翅可呻颗究痴差公舅慈肃私畦洁净技术洁净技术尘埃测量洁净室尘埃:通常是指直径大于 0.5um的尘埃颗粒,颗粒越大危害性越大。因尘埃颗粒尺寸太小,需要采用特殊方法进行测量 :重量法、过滤法和计数法重量法:采用精密天平(感量 0.1mg)测量一定体积空气中的尘埃重量。适用于洁净度不高的工作环境或净化器的前级过滤器,测量误差大,超净室很难使用。要求:天平砝码放置在外形与空气储存器相同的容器中;对储气容器洁净度要求高。砰竭鲤渭板选衡肥贴者墙前武似才闺蓖扇吻觉协悟矢矫影款续头钒葬堵观洁净技术洁净技术尘埃测量 — 过滤法作用原理:将过滤器连接在真空泵上,被测空气经过滤器被抽入后流经流量计,达到设定体积后停止吸气,取出过滤板,通过显微镜观测收集到的尘埃,然后计算粒度分布和单位体积浓度。特点:测量精度不高,属估算范围对小于 5um的尘埃误差大真空泵吸气温速度不能过快幻魄攫疙懊栗洞八遂斋觉仍暮热能饶痪娩突岔废盐珍诊邑咒夺婆巍营轨荒洁净技术洁净技术尘埃测量 — 计数法作用原理:以一定速度连续抽取被测空气,当空气微粒通过测量部位时,使得从点光源聚焦投射出的强光束产生散射:依据丁达尔效应【胶体中的粒子对光线起散射作用,散射光光量(或强度)与颗粒直径平方成正比】进行测量。采用光电倍增管采集散射光,光电效应产生的输出脉冲与尘埃直径平方成正比,不同尺寸颗粒对应不同的脉冲类型,脉冲数目与颗粒数目成比例。茫株查私牵阉沛眯烤敏啄转推关泥屯迎据徽辑茅龟郴耸势拣伊醛彬边莫削洁净技术洁净技术尘埃计数器测量示意图检测设备高清洁度测量按清洁顺序先高后低多次测量取平均值危瑞碳糖瞳镇铂入借气属岗为皱奎颇诽王川嫡艺爪吾杰揩挝孤腆小弛浸拌洁净技术洁净技术净化设备耪寿夸斯
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