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去PSG工艺作业指导书.doc

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去 PSG 工艺作业指导书文件名称:去PSG 工艺作业指导书版本:A文件编号: 修订:公司生产车间名称:光伏1 号文件类型: 撰写人:目的:1.去除磷硅玻璃(PSG) ;2.制作合格的太阳能硅片,保证人生安全。适用范围:去除硅片表面的 PSG职责:工艺工程师:1.设定标准参数2.设定标准操作规程?????????????主要原材料及半成品:刻蚀后的标准硅片,HF,分析纯/电子级主要仪器设备及工具:去磷硅玻璃清洗设备,电阻率测试仪,花篮承载框,清洗小花篮,量杯。工艺技术要求:????????????操作规程:(1)配液:按处理液配方配制去磷硅玻璃处理液,处理液配方 HF:H2O=1;6(体积比) 。然后将处理液注入去磷硅玻璃设备的处理槽内,液面高度为离槽口约 80mm。 (2)开机:按去磷硅玻璃设备的操作规程启动全自动清洗设备,使其处于正常运转状态(绿灯)(3)装片:1.操作员带上口罩和乳胶手套,将去周边层后硅片插入硅片盒。注意装片时保证硅片的正面朝同一个标有明显标记方向。2.将装满硅片的硅片盒放入承载框,再将承载框放到进料工位上。(4)清洗:启动进料传送线将承载框送到清洗设备本体,由自动机械手将承载框手移依次送到各工位对硅片进行腐蚀清洗去除磷硅玻璃。经 4 个工位全过程处理后将硅片取出。(5)甩干:1.将装满硅片的硅片盒放入甩干机中,启动设备,甩干,2.记录甩干后合格的硅片,并通过传递窗流向下一道镀膜工序。(6)自检:检查硅片是否有裂痕.缺角.崩边,将无法继续生产的硅片取出,并填写片数,记录好流程卡。(7)关机:生产任务完成后,停止设备运行,关闭电源.清洁.维护设备。工艺卫生要求:、1.绝对不允许直接用手接触硅片2.物品和工具定点放置,用过的工具要放回原位,严禁乱放。3.代用橡胶手套和防护制服。4.确保车间卫生清洁。5.按时清洁车间卫生注意事项:(1)操作注意事项:1.严格按照去磷硅玻璃设备操作规程进行生产。2. 配制酸液时,必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。3. 将硅片装入片架时,磷扩散的正面要面向片架的背面4.操作员应时刻注意显示设备运转的指示灯,绿灯为正常运转,黄灯为手动或其他,红灯为异常或事故发生,立即按下急停按钮。5.工作结束时及时关闭电源.氮气和水源.压缩空气。(2)原材料的注意事项:去 PSG 的原材料中,氢氟酸具有一定的腐蚀性与危害性,需对要氢氟酸尤加注意。
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