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单晶炉操作规程.doc

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单晶炉操作规程.doc
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浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号: Q02-09版本号:A/1 页码:第 1 页 共 35 页单晶炉操作规程生效日期:2008 年 5 月 30 日一、目 的:为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常进行,特制订本规程。二、范 围:适用于 FT-CZ2008 型单晶炉的操作。图 1 FT-CZ2008 型单晶炉 图 2 操作柜三、依 据:依据为直拉法生长硅单晶的工艺和 FT-CZ2008 型单晶炉的性能。批 准 审 核 编 制修改履历页 码 内 容 状 态 备 注浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号: Q02-09版本号:A/1 页码:第 2 页 共 35页单晶炉操作规程生效日期:2008 年 5 月 30 日四、权责单位:本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。五、作业流程:作业准备 取单晶和籽晶 石墨件取出冷却 真空过滤器清扫 真空泵油检查与更换石墨件清扫炉室清扫石墨件安装石英坩埚安装硅料安装籽晶安装 抽空 、 检漏 充氩气 、 升功率 、 熔料 温度稳定 引晶和缩颈放肩转肩等径生长收尾降功率 、 停炉热态检漏六、作业内容:1、作业准备1 、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。2 、开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无异常后方能开炉。3 、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。4 、准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。5 、准备取单晶用的专用取棒车、装石墨件的不锈钢长条车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。6 、用毛巾将炉体从上到下擦扫一遍,擦扫时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。2、取单晶和籽晶1、点击【氩气】进入氩气控制菜单,在【MFC 流量值】 中分步递增到 100.0SLM,并先后点击【MFC】和【上炉体气阀】的【开启】按钮。炉体压力达到 760Torr 后,先后点击【上炉体气阀】和【MFC】的【关闭】按钮。浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号: Q02-09版本号:A/1 页码:第 3 页 共 35页单晶炉操作规程生效日期:2008 年 5 月 30 日图 3 【氩气】操作界面2、拧开上炉体螺母,将操作手柄上的【HOIST】旋钮打向 UP 位置点动上升炉筒至适当位置,将操作手柄上的【SEED】旋钮打向 UP 位置上升晶棒到翻板阀室以上,顺时针转动翻板阀手柄,关闭翻板阀。图 4 隔离阀手柄3、上升上炉体至上限位,上升晶体至上炉体内。转动晶棒托架,通过【SEED】UP/DOWN 键调整晶棒的高度,使其与托架接触,但不承重。浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号: Q02-09版本号:A/1 页码:第 4 页 共 35 页单晶炉操作规程生效日期:2008 年 5 月 30 日图 5 晶棒托架4、打开上炉体定位开关,转动上炉体到一侧,放下上炉体定位开关,便于取晶棒。图 6 定位开关5 、将操作手柄上的【SEED】按钮打向 UP 位置,上升晶棒,转动托架。再将 【SEED】打向DOWN 下降晶体,用晶棒专用车承接晶棒,每进入一格,用锁扣锁住。下降晶棒使其与晶棒车有充分接触,但不全部承重到晶棒车上。操作者一手拿住籽晶一手用钳子将籽晶从细颈处钳断,钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。6 、将籽晶从重锤上取下,观察籽晶积渣情况和有无机械损伤,取下的籽晶放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。7 、将晶棒移到中转区,及时、准确的将晶棒编号写在晶棒上,观察晶棒颜色并做相应记录,待晶棒自然冷却后,由生产检验人员对晶棒进行各项参数检测并做好记录。浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号: Q02-09单晶炉操作规程 版本号:A/1 页码:第 5 页 共 35页生效日期:2008 年 5 月 30 日图 7 晶棒中转专用车3、石墨件取出冷却1、石墨小件的取出①、打开上炉体定位开关,旋转到炉盖上方,合上上炉体定位开关,将操作手柄上的【HOIST 】按钮打向 DOWN 位置下降上炉体至炉盖,拧紧上炉体螺母,将【HOIST】按钮打向 UP 位置,上升至限位,打开上炉体定位开关,再旋转炉盖到侧面,合上上炉体定位开关。②、戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢长板车上,注意要拿稳并轻放。③、观察石英坩埚的埚口积渣情况,然后戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起,使其松动,将石英坩埚取出。若石英坩埚能将埚底料全部带出,则直接放入不锈钢筒;若不能,则将先取出石英坩埚,然后将大块料拿出放入不锈钢筒,剩下的埚底料随石墨三瓣埚一并取出后,再将埚底料放入不锈钢筒内。取出埚底料时要观察埚底是否有渗硅情况并做相应记录。若出现闷炉等意外情况则用钳子像装料一样
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